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IGS金属ダイヤフラムバルブ
IGSに適用される高純度金属ダイヤフラムバルブは、バルブボディの材質として二次溶融SUS 316 Lを採用し、複数のインタフェース（C-sealとW-seal）が選択可能である。
製品の詳細
利点
•高純度プロセスに最適なガス供給ライン
•弁体材質は二次溶融SUS 316 Lを選択し、安全で信頼性がある
•W-sealとC-sealを選択可能
技術パラメータ
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寸法すんぽう |
SEMI F83-0304 |
SEMI F84-0304 |
SEMI F86-0304 |
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Cv value（Cv値） |
0.24 |
0.24 |
0.27 |
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さいだいしようあつりょく |
1.0MPa(G) |
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使用温度範囲 |
-10～80℃ |
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外部リーク |
≦3x10-12Pa・m3/sec Helium |
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バルブシートリーク |
≦3x10-10Pa・m3/sec Helium |
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